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一種熱壓機(jī)構(gòu)及熱壓設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40530992

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本發(fā)明涉及芯片加工設(shè)備,尤其涉及一種熱壓機(jī)構(gòu)及熱壓設(shè)備。背景技術(shù)、目前用于芯片熱壓燒結(jié)中的納米銀或納米銅熱壓燒結(jié)的方式大多是一體式壓接或分體式壓接(分布在同一平面上),將待加工件放在下壓接平臺(tái)上,通過兩個(gè)壓頭的相互靠近和遠(yuǎn)離動(dòng)作,使位于兩壓頭中間的待加工件完成芯片壓接。?現(xiàn)有熱壓機(jī)構(gòu)只能更換壓頭連接結(jié)構(gòu),不方便更換粘吸結(jié)構(gòu)。、技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本發(fā)明提供一種熱壓機(jī)構(gòu)及熱壓設(shè)備,用以解決現(xiàn)有技術(shù)中壓接裝置的壓頭和粘吸結(jié)構(gòu)拆裝不方便的問題。、一種熱壓機(jī)構(gòu),包括壓力腔室組件和施壓組件;所述壓力腔室...
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