技術編號：40531339
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及厭氧高溫氮氣測試爐，具體為一種厭氧高溫氮氣爐的管路系統(tǒng)及其控制方法。背景技術、目前，無論是在半導體行業(yè)晶圓(光刻膠pi、pbo、bcb)固化，還是在led制造行業(yè)烘烤玻璃基板，因為需要在無氧、高溫環(huán)境中進行，因此會經(jīng)常用到厭氧高溫氣氛爐。厭氧高溫氣氛爐是一種在軍工、汽車、電子等行業(yè)都經(jīng)常會用到的設備，厭氧高溫氣氛爐的工作流程是：將產(chǎn)品放置于高溫試驗箱箱體內(nèi)，然后將箱體內(nèi)的大氣(含.％大氣氧氣)使用氮氣進行置換，當氧氣的濃度低于一定水平時(通常在ppm以下)，升高溫度開始生...
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