技術(shù)編號：40536079
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體硅晶圓片腐蝕清洗，具體是指一種用于酸腐蝕機(jī)上的腐蝕籠鎖緊及自轉(zhuǎn)裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體硅晶圓片工序中，需要使用化學(xué)腐蝕的工藝，來消除因切片、研磨等機(jī)械加工而產(chǎn)生的損傷層。中國半導(dǎo)體市場需求很大，但人工成本不斷攀升，迫使半導(dǎo)體硅晶圓片生產(chǎn)廠商提高自動化設(shè)備的程度，要求一次腐蝕的產(chǎn)品數(shù)量最大化來擴(kuò)大產(chǎn)能，并改進(jìn)工藝提高晶圓片的良品率。、現(xiàn)有技術(shù)，存在以下問題：、()因一次腐蝕很多晶圓片，故裝片完成的腐蝕籠過重且體積較大，不容易裝夾到腐蝕清洗機(jī)上；()腐蝕籠的轉(zhuǎn)軸是圓形，在裝...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。