技術編號：40542266
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種精確化的異質結構衍射光學元件(doe)的結構設計及加工方法，具體是關于一種采用襯底層和功能層組合的衍射光學元件的結構構成、設計方法和加工流程，該種doe具有設計精確、結構簡單、選材靈活、加工過程簡易的優(yōu)勢。應用領域主要包括各類光束整形器、光束勻化器、激光分束器等。背景技術、技術背景、不同于光學系統中常采用的透鏡、反射鏡、棱鏡等傳統折射、反射光學元件，基于衍射原理實現光分布的變換和控制的光學元件稱為衍射光學元件(diffractive?opticalelement，doe)。其具...
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