技術編號：40542408
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及半導體加工，尤其涉及半導體夾取裝置及半導體搬運設備。背景技術、在半導體加工設備中，半導體需要經(jīng)過多個不同的工藝加工過程，通常使用機械手完成晶圓在各個工藝腔室之間的轉運工作。不同的工藝腔室內的晶圓狀態(tài)各有不同，且工藝腔室的內部環(huán)境也有所不同，例如一些晶圓適合上取片方式，需要帶有吸盤的機械手結構從上方吸取晶圓。機械手常使用伯努利吸盤來吸附晶圓，伯努利吸盤隨機械手在各個腔室之間轉運，進行旋轉、伸展和升降運動，將晶圓轉移至需要的位置。伯努利吸盤的底面吹出高速氣體，使吸盤與晶圓之間的壓強減小，...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。