技術(shù)編號：40545591
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種基板處理裝置。背景技術(shù)、關(guān)于利用藥液或清洗液等處理液對半導(dǎo)體晶片等基板進(jìn)行處理的基板處理裝置，從對各基板的處理的均勻性或再現(xiàn)性的觀點(diǎn)而言，廣泛采用逐片對基板進(jìn)行處理的單片方式的裝置。單片方式的基板處理裝置通過使保持有基板的旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)，一邊使基板旋轉(zhuǎn)，一邊向基板的中心附近供給處理液，由此利用離心力使處理液遍布基板的整個(gè)被處理面，對被處理面進(jìn)行處理。、這樣的處理裝置包括將基板保持于旋轉(zhuǎn)臺的卡盤機(jī)構(gòu)?？ūP機(jī)構(gòu)例如設(shè)置為沿著基板的周緣配置的多個(gè)卡盤銷能夠在與基板的外周的端面相接的關(guān)閉位...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。