技術(shù)編號(hào):40546390
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及硅溶膠制備方法,尤其涉及一種大粒徑球形硅溶膠的制備方法及其產(chǎn)品。背景技術(shù)、化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)將化學(xué)試劑的腐蝕作用與納米粒子的機(jī)械削磨作用相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石、紅外材料、硅襯底、碳化硅襯底、集成電路芯片等器件表面的平坦化,是目前最佳的全局平坦化技術(shù)。氧化硅、氧化鋁和氧化鈰溶膠是三種最常用的拋光液磨料,其中硅溶膠用途最廣泛且用量最大。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)對(duì)硅溶膠的粒徑、均勻性以及純度等指標(biāo)的要求越來(lái)越高。、硅溶膠的制備方法有離子交換法、單質(zhì)硅水解法、溶膠-凝膠法。溶膠-凝膠...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。