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一種梯度投加催化劑制備大粒徑球形硅溶膠的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40546390

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本發(fā)明涉及硅溶膠制備方法,尤其涉及一種大粒徑球形硅溶膠的制備方法及其產(chǎn)品。背景技術(shù)、化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)將化學(xué)試劑的腐蝕作用與納米粒子的機(jī)械削磨作用相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石、紅外材料、硅襯底、碳化硅襯底、集成電路芯片等器件表面的平坦化,是目前最佳的全局平坦化技術(shù)。氧化硅、氧化鋁和氧化鈰溶膠是三種最常用的拋光液磨料,其中硅溶膠用途最廣泛且用量最大。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)對(duì)硅溶膠的粒徑、均勻性以及純度等指標(biāo)的要求越來(lái)越高。、硅溶膠的制備方法有離子交換法、單質(zhì)硅水解法、溶膠-凝膠法。溶膠-凝膠...
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