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一種用于半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔的噴嘴裝置和半導(dǎo)體設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40547874

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本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,具體涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔的噴嘴裝置和半導(dǎo)體設(shè)備。背景技術(shù)、現(xiàn)有技術(shù)中的噴嘴組件主要通過(guò)將進(jìn)氣管的氣流經(jīng)環(huán)形圈擴(kuò)散后通過(guò)多個(gè)管道流到層狀勻氣空間,并通過(guò)該勻氣空間進(jìn)行二次分配,以使得氣體通過(guò)水平方向流入反應(yīng)腔內(nèi)。但是由于管道相對(duì)于該勻氣空間無(wú)法達(dá)到中心對(duì)稱,導(dǎo)致氣體在環(huán)形周向上出氣不均勻,影響后續(xù)工藝的穩(wěn)定性。、雖然現(xiàn)有技術(shù)公開(kāi)了可以通過(guò)在進(jìn)氣方向的垂直方向上進(jìn)行勻氣,但是如何做到極致的勻氣效果以及如何設(shè)置各個(gè)勻氣構(gòu)造都是一個(gè)值得探索的問(wèn)題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、為...
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