技術(shù)編號：40549087
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于傳感器裝置、麥克風(fēng)裝置和/或微型揚(yáng)聲器裝置的微機(jī)械構(gòu)件。本發(fā)明同樣涉及一種用于傳感器裝置、麥克風(fēng)裝置和/或微型揚(yáng)聲器裝置的微機(jī)械構(gòu)件的制造方法。背景技術(shù)、由de?????a已知一種用于傳感器裝置的微機(jī)械構(gòu)件，該構(gòu)件具有至少一個定子電極、至少一個執(zhí)行器電極和跨越電極的膜片，該膜片具有背離電極地指向的膜片外側(cè)。此外，在該微機(jī)械構(gòu)件上形成在膜片外側(cè)上突出的加固和/或保護(hù)結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)例如作為保護(hù)格柵要保證膜片外側(cè)的顆粒物防護(hù)，以阻止膜片污染。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。