技術(shù)編號(hào)：40550901
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開涉及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量，具體地說，涉及一種理論光譜數(shù)據(jù)優(yōu)化方法及測量方法。背景技術(shù)、光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量(optical?critical?dimension，ocd)技術(shù)通過獲取樣品上測量區(qū)域中周期性結(jié)構(gòu)的散射信號(hào)以及樣品的模型從而估計(jì)出樣品的具體形貌參數(shù)，可以滿足在新制程和新技術(shù)中實(shí)現(xiàn)快速精確測量的需求，并且具有非接觸性和非破壞性，可以應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域以測量樣品(如晶圓或光罩)的形貌參數(shù)。而光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量技術(shù)，其原理總體可以描述為：先建立與樣品的結(jié)構(gòu)模型相對應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)庫，再通過獲取...
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