技術(shù)編號：40552629
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及硅芯磨錐支撐，尤其是涉及一種方硅芯磨錐支撐結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、方硅芯由高純度硅芯圓棒制成，呈標(biāo)準(zhǔn)的方形平面結(jié)構(gòu)，其在西門子法和硅烷發(fā)多晶硅生產(chǎn)中作為熱載體，用于還原反應(yīng)沉積多晶硅，它連通沉積的硅一起作為多晶硅原料使用，是多晶硅生產(chǎn)中不可缺少的材料。、在一些使用情況下需要將硅芯進(jìn)行磨錐加工，創(chuàng)建具有特定錐形結(jié)構(gòu)的硅芯，以滿足這些應(yīng)用的需求，磨錐是將硅芯的某個部分磨削成錐形，在半導(dǎo)體制造中，精確的研磨和切割是非常重要的步驟，以確保器件的尺寸和形狀滿足設(shè)計要求。、由于硅芯具有一定的長度，在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。