技術(shù)編號：40552691
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及石墨舟生產(chǎn)應用領(lǐng)域，具體涉及一種應用于光伏設(shè)備的推舟機構(gòu)。背景技術(shù)、pecvd(pl?asma?enhanced?chemica?l?vapor?depos?it?ion)等離子體增強化學氣相沉積是在真空狀態(tài)下利用低溫等離子體做能量源，硅片置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電(或另加發(fā)熱體)使硅片升溫到預定的溫度，然后通入適量的反應氣體，氣體經(jīng)一系列化學反應和等離子體反應，在硅片上形成固態(tài)薄膜。、隨著pecvd設(shè)備技術(shù)的發(fā)展，降成本、大產(chǎn)能的要求越來越高，單管的產(chǎn)能也越來越大...
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