技術(shù)編號：40553233
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及微制造，尤其涉及一種金屬微結(jié)構(gòu)模芯的分段式電鑄方法。背景技術(shù)、在聚合物微米級制造中，微注射成型由于具有高通量、低制造成本和高復(fù)制精度的特點，常被用于批量化生產(chǎn)功能性的聚合物微器件，如微流體器件，微光學(xué)和抗粘表面。在聚合物微器件的注射成型中，精密金屬微結(jié)構(gòu)模芯制造技術(shù)是實現(xiàn)聚合物微器件批量化制造方法的關(guān)鍵技術(shù)之一。來自德國的liga技術(shù)中，采用具有高制造精度（原子級沉積）和低成本的微電鑄方法制備金屬微結(jié)構(gòu)模芯是國際上模芯微制造主要流派之一。、背板電鑄是一種同時沉積微結(jié)構(gòu)和模芯基底的電...
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