技術(shù)編號(hào)：40553682
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，特別涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的供電結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體工業(yè)中，廠務(wù)端分別與供電端及各個(gè)機(jī)臺(tái)連接，且負(fù)責(zé)根據(jù)需要將供電端電能進(jìn)行分配和轉(zhuǎn)用，其中，電能經(jīng)廠務(wù)端分配后，通過(guò)分路電纜直接傳輸?shù)礁鱾€(gè)機(jī)臺(tái)。所述機(jī)臺(tái)包括配電器件和多個(gè)用電器件，所述分路電纜將分配后的電能輸送到對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)后，經(jīng)過(guò)所述配電器件進(jìn)行配電，再通過(guò)電力線路直接向多個(gè)用電器件進(jìn)行供電。、在現(xiàn)有技術(shù)中，廠務(wù)端供給機(jī)臺(tái)的電能經(jīng)配電器件直接傳輸?shù)礁鱾€(gè)用電器件的供電結(jié)構(gòu)中，仍存在以下的問(wèn)題：、半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)臺(tái)的用電器件中包...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。