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一種小型納米壓印裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40554002

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本技術(shù)涉及壓印裝置,特別是涉及一種小型納米壓印裝置。背景技術(shù)、納米壓印光刻技術(shù)(nanoimprint?lithography,nil)是由美國(guó)明尼蘇達(dá)大學(xué)納米結(jié)構(gòu)實(shí)驗(yàn)室?stephen?y.zhou?教授于??年開(kāi)始進(jìn)行的開(kāi)創(chuàng)性研究,是一種全新微納米圖形化的方法,使用壓印模具通過(guò)抗蝕劑的受力變形實(shí)現(xiàn)其圖形化的一種新型技術(shù)。、隨著近幾年納米壓印技術(shù)的發(fā)展,越來(lái)越多的領(lǐng)域使用納米壓印裝置代替電子束光刻裝置。其主要應(yīng)用領(lǐng)域:高亮度光子晶體led、高密度磁盤(pán)介質(zhì)?(hdd)、光學(xué)元器件?(...
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