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超聲波振動接合裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:40554164

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本公開涉及加壓式的超聲波振動接合裝置,例如涉及被作為在薄的基板上超聲波接合具有導(dǎo)電性的電極的電極接合裝置使用的超聲波振動接合裝置。背景技術(shù)、以往,在對薄膜類太陽能電池用的基板的上表面配置集電用的電極線之后,在對基板接合電極線的工序中,使用執(zhí)行一邊對配置在基板上的電極線施加壓力一邊施加超聲波的超聲波接合處理的超聲波振動接合裝置。作為這樣的超聲波振動接合裝置,例如有在專利文獻(xiàn)及專利文獻(xiàn)中公開的加壓式的超聲波振動接合裝置。、圖是示意地表示作為以往的超聲波振動接合裝置的電極接合裝置的整體...
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