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一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40554370

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本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工,具體為一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置。背景技術(shù)、勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的粘度,如中國(guó)專利網(wǎng)站公開(kāi)的cnu一種勻膠裝置及勻膠機(jī),包括:圓形的轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái),用于承載待涂膠的工件,所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)上設(shè)有與所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)同圓心的圓形導(dǎo)軌;驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng);以及限位組件,所述限位組件包括至少兩根固定的支撐桿,所述支撐桿的支撐端設(shè)有與所述圓形導(dǎo)軌配合的...
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