技術(shù)編號(hào):40554370
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體加工,具體為一種半導(dǎo)體加工的勻膠裝置。背景技術(shù)、勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于勻膠機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的粘度,如中國(guó)專利網(wǎng)站公開(kāi)的cnu一種勻膠裝置及勻膠機(jī),包括:圓形的轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái),用于承載待涂膠的工件,所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)上設(shè)有與所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)同圓心的圓形導(dǎo)軌;驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)載臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng);以及限位組件,所述限位組件包括至少兩根固定的支撐桿,所述支撐桿的支撐端設(shè)有與所述圓形導(dǎo)軌配合的...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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