技術(shù)編號：40555654
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及材料制備，尤其涉及到硫化鋅材料制備領(lǐng)域，具體是指一種制備硫化鋅的cvd設(shè)備及制備方法。背景技術(shù)、硫化鋅時典型的ⅱ-ⅵ族化合物，屬于寬禁帶材料，具有化學(xué)性能穩(wěn)定、環(huán)境適應(yīng)性強、易于加工、光傳輸損耗小、透光性能強等特點，被廣泛應(yīng)用于紅外光學(xué)領(lǐng)域。常見的硫化鋅制備方法包括熱壓法、物理氣相沉積法、化學(xué)氣相沉積法(cvd)等，其中cvd法制備的硫化鋅產(chǎn)品具有純度高、材料致密、形狀靈活、透過率高等優(yōu)點，是目前所采用的最常規(guī)的硫化鋅制備方法。、在現(xiàn)有技術(shù)中，用cvd法制備硫化鋅時，通常采用硫化氫...
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