技術編號：40556259
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及光刻機，尤其涉及一種光刻機的鏡頭保護裝置。背景技術、光刻機的鏡頭保護裝置是用來保護光刻機的鏡頭免受損壞的，光刻機是一種用于制造微芯片、平板顯示屏和其他微細結構的設備，鏡頭是其中關鍵的部件之一，在光刻過程中，鏡頭需要承受高強度的光束、高溫和化學物質的影響，因此需要采取措施來保護鏡頭的質量和壽命，鏡頭保護裝置通常由多個組件組成，包括濾光片、防污涂層、氣體清潔系統(tǒng)等，濾光片可以過濾掉光刻過程中的不必要的光線，以避免對鏡頭造成損害，防污涂層可以防止灰塵、化學物質或其他雜質進入鏡頭表面，保持其...
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