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一種光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40556652

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本技術(shù)涉及光學(xué)元件的,尤其是涉及一種光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、光波導(dǎo)作為一種輕薄的ar技術(shù)方案備受青睞,尤其是衍射光波導(dǎo)技術(shù)獨(dú)特的量產(chǎn)性和經(jīng)濟(jì)性,具備成為主流技術(shù)的可能性。從工藝制備角度來看,表面浮雕光柵的光波導(dǎo)制備工藝可以分為兩大類,一類是通過納米壓印方式制備光柵,另外一類方法則是通過直接刻蝕的方式制備光柵。通過壓印方法得到的光波導(dǎo),受限于壓印膠材料的制作工藝,折射率很難超過.,導(dǎo)致光柵的衍射效率難以提升;壓印工藝對(duì)光柵的深寬比有限制,通常光柵深寬比不能超過:,這在很大程度上限制了光波導(dǎo)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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