技術(shù)編號(hào)：40558637
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施例一般涉及一種高速半導(dǎo)體分類(lèi)設(shè)備以及一種包括這種分類(lèi)設(shè)備的半導(dǎo)體檢查系統(tǒng)。更具體地說(shuō)，本文公開(kāi)的實(shí)施例涉及一種用于對(duì)在高速載具上行進(jìn)的基板進(jìn)行分類(lèi)的基板分類(lèi)器以及其方法。背景技術(shù)、半導(dǎo)體基板在處理之前由計(jì)量系統(tǒng)例行檢查，以獲得基板的特性和缺陷，用于確保嚴(yán)格遵守預(yù)定的質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。計(jì)量系統(tǒng)可以提供關(guān)于基板的全面數(shù)據(jù)，諸如物理尺寸、光學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)、晶體結(jié)構(gòu)等。在檢查完成之后，基板被分類(lèi)并轉(zhuǎn)移到根據(jù)其具體特性而分配的指定容器中。、由于基板可以由計(jì)量站并行檢測(cè)，檢查的基板的分類(lèi)和...
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