技術(shù)編號：40564178
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于磁浮臺運動定位的霍爾傳感器系統(tǒng)及運行方法，屬于磁懸浮運動臺。背景技術(shù)、自世紀(jì)年代以來，電子信息產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展成為帶動世界經(jīng)濟(jì)增長的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。以集成電路為核心的各種半導(dǎo)體器件制造是電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和主導(dǎo)。精密儀器制造對加工設(shè)備的要求越來越高，其中定位精度的高低直接影響到待加工尺寸的精度，提高定位精度不僅可以通過提高傳感器的精度與分辨力等，還可以通過路徑預(yù)測來實現(xiàn)。由于磁懸浮系統(tǒng)具有非接觸式特性，因此在清潔環(huán)境系統(tǒng)、高精度定位和高速運輸系統(tǒng)中被廣泛使用?；谝陨媳尘?，針...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。