技術(shù)編號：40565384
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本公開涉及線材切割領(lǐng)域，尤其涉及一種三梁四柱結(jié)構(gòu)、線網(wǎng)切割設(shè)備及線網(wǎng)切割方法。背景技術(shù)、將硅棒切割成方形硅芯過程中，一般將切割線纏繞在設(shè)備導(dǎo)輪組上形成切割線列，兩個導(dǎo)輪組形成的相互正交的切割線列構(gòu)建線網(wǎng)，利用線網(wǎng)的方形網(wǎng)孔實現(xiàn)方形硅芯切割。隨著集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，對三角形硅芯的需求量越來越大，然而，由于切割作業(yè)中硅棒施加的負載復(fù)雜，微小的變形或震顫都會影響硅芯切割質(zhì)量，因此現(xiàn)有技術(shù)中還沒有能夠批量切割三角形硅芯的線網(wǎng)切割設(shè)備。技術(shù)實現(xiàn)思路、本公開提供一種線網(wǎng)切割設(shè)備及線網(wǎng)切割方法。、具體...
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