技術(shù)編號：40566756
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本文中所描述的實施例涉及光學檢驗系統(tǒng)，且更特定來說，涉及一種用于此類系統(tǒng)的氣動升降器組合件。背景技術(shù)、檢驗過程在半導體制造過程期間的各種步驟中用于檢測晶片上的缺陷以促進制造過程的良率提高，借此獲得更高利潤。檢驗始終為制造半導體裝置的重要部分。然而，隨著半導體裝置的尺寸減小，檢驗對可接受半導體裝置的成功制造變得更重要，因為更小缺陷可引起裝置失效。、一些制造、度量及缺陷檢驗過程需要垂直移動襯底定位于其頂表面上的卡盤。升降器組合件支撐卡盤且致動垂直移動。例如，氣動桿可位于升降器組合件的腔室內(nèi)且連接...
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