技術(shù)編號：40567173
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。背景技術(shù)、本公開中呈現(xiàn)的實施例涉及半導(dǎo)體器件領(lǐng)域。更具體地，本文中公開的實施例涉及用于在半導(dǎo)體器件的制造期間進行旋涂的技術(shù)。、半導(dǎo)體器件在電功率的控制中得到廣泛應(yīng)用，范圍從調(diào)光器電動馬達速度控制到高壓直流功率傳輸。例如，晶閘管用于交流(alternating?current，ac)功率控制應(yīng)用。晶閘管可以作為電功率開關(guān)操作，因為晶閘管的特征在于能夠從非導(dǎo)電狀態(tài)快速切換到導(dǎo)電狀態(tài)。在操作中，晶閘管導(dǎo)通，從高阻抗?fàn)顟B(tài)切換到低阻抗?fàn)顟B(tài)。這通過在柵極和陰極之間施加電壓以及使電流從柵極行進到陰極來實現(xiàn)...
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