技術(shù)編號(hào):40568488
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體微透鏡制造領(lǐng)域,尤其涉及一種雙面微透鏡結(jié)構(gòu)的制作方法。背景技術(shù)、微透鏡結(jié)構(gòu)起到光路整形的作用,是光學(xué)器件結(jié)構(gòu)中重要組成部分。隨著對(duì)算力提升的要求,以及對(duì)器件結(jié)構(gòu)小型化的要求。對(duì)透鏡的數(shù)量和耦合效率提出了更高的要求。、在此背景下,研發(fā)人員開(kāi)發(fā)出了雙面結(jié)構(gòu)透鏡,不僅節(jié)省器件尺寸面積,而且耦合效果更高。、而在研發(fā)過(guò)程中,本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn),在半導(dǎo)體工藝制作中,雙面結(jié)構(gòu)限制了刻蝕工藝的實(shí)施,尤其是雙面凸起透鏡結(jié)構(gòu)的影響最大。這是因?yàn)榭涛g工藝背面需要貼附在載臺(tái)上面,下面通過(guò)冷卻液循環(huán)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。