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雙面微透鏡結(jié)構(gòu)的制作方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40568488

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體微透鏡制造領(lǐng)域,尤其涉及一種雙面微透鏡結(jié)構(gòu)的制作方法。背景技術(shù)、微透鏡結(jié)構(gòu)起到光路整形的作用,是光學(xué)器件結(jié)構(gòu)中重要組成部分。隨著對(duì)算力提升的要求,以及對(duì)器件結(jié)構(gòu)小型化的要求。對(duì)透鏡的數(shù)量和耦合效率提出了更高的要求。、在此背景下,研發(fā)人員開(kāi)發(fā)出了雙面結(jié)構(gòu)透鏡,不僅節(jié)省器件尺寸面積,而且耦合效果更高。、而在研發(fā)過(guò)程中,本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn),在半導(dǎo)體工藝制作中,雙面結(jié)構(gòu)限制了刻蝕工藝的實(shí)施,尤其是雙面凸起透鏡結(jié)構(gòu)的影響最大。這是因?yàn)榭涛g工藝背面需要貼附在載臺(tái)上面,下面通過(guò)冷卻液循環(huán)...
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