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晶圓背面缺陷檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40569195

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本申請(qǐng)涉及晶圓缺陷檢測(cè),尤其是涉及一種晶圓背面缺陷檢測(cè)方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中,晶圓的加工質(zhì)量直接決定了后續(xù)芯片產(chǎn)品的良率和質(zhì)量。晶圓表面包含了芯片的線路等,受工藝、原材料等各種因素的影響,晶圓表面缺陷通常非常微小,且形態(tài)結(jié)構(gòu)多樣,因此,晶圓表面缺陷通常需要獲取多張高精度且清晰的晶圓圖像,以檢測(cè)晶圓表面的缺陷。同時(shí),在晶圓制造過(guò)程中,晶圓背面也可能存在劃痕、腐蝕等缺陷,背面的劃痕、腐蝕等缺陷可能會(huì)導(dǎo)致芯片出現(xiàn)裂紋,因此,對(duì)晶圓背面的缺陷進(jìn)行檢測(cè),以保證晶圓質(zhì)...
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