技術(shù)編號(hào)：40570228
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及步進(jìn)式光刻設(shè)備，尤其涉及一種場像對準(zhǔn)照明裝置。背景技術(shù)、fia(field?image?alignment，場像對準(zhǔn)技術(shù))是光刻機(jī)設(shè)備對準(zhǔn)系統(tǒng)中的一種，一個(gè)完整的fia包含fia光源、fia光路、fia?ccd(charge?coupled?device，電荷耦合器件)攝像機(jī)以及相應(yīng)的信號(hào)處理模塊，fia光源進(jìn)入fia光路后照射于硅片上，硅片上凹凸不平的標(biāo)記反射光線給ccd攝像機(jī)，信號(hào)處理模塊用于將ccd攝像機(jī)內(nèi)的光學(xué)信號(hào)轉(zhuǎn)化為電子信息。、現(xiàn)有技術(shù)中，fia光源采用鹵素?zé)粽彰鳌Ｓ捎?..
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。