技術(shù)編號：40573368
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及太陽能電池，具體涉及一種太陽能電池用鈍化膜的開孔方法及應(yīng)用。背景技術(shù)、在太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域中，給鈍化膜(如采用等離子體增強化學(xué)氣相沉積法制備的鈍化膜，也即pecvd法制得的鈍化膜)開孔是一個常用的技術(shù)。鈍化膜開孔后，即可在開孔處通過金屬化來制備金屬電極，以使金屬電極接觸開孔處裸露的硅片或者摻雜層(如p摻雜層)，進而實現(xiàn)導(dǎo)電。鈍化膜開孔技術(shù)常用于涉及如perc、p-tbc類型的太陽能電池的背場p摻雜區(qū)域?qū)?yīng)的鈍化膜的開孔。、常用的給鈍化膜開孔的方案有兩種：激光開孔法和腐蝕漿料開孔...
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