技術(shù)編號(hào):40573530
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及樹(shù)脂加工,尤其涉及一種靜電耗散聚醚醚酮組合物。背景技術(shù)、基于聚醚醚酮的高溫樹(shù)脂擁有優(yōu)良的耐化學(xué)品性、可加工性和耐熱性,使得其適用于高性能要求的半導(dǎo)體制程中的各種制具,比如晶元盒、光罩夾、光罩盒等。而在半導(dǎo)體制程中,這一類(lèi)制具要求:()穩(wěn)定的表面電阻率~,達(dá)到靜電耗散的功能,防止晶元因?yàn)殪o電積累而損壞;()同時(shí)要求表面效果好,光滑無(wú)麻點(diǎn),從而在使用過(guò)程中與接觸的物品摩擦小,不易損壞。因此,本領(lǐng)域亟需要產(chǎn)生一種具有改進(jìn)的表面效果和穩(wěn)定的表面電阻率的聚醚醚酮組合物。技術(shù)實(shí)現(xiàn)...
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