技術(shù)編號(hào)：40573671
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。各種發(fā)明構(gòu)思涉及一種包括測試圖案的半導(dǎo)體裝置以及一種包括重疊圖案和/或測試元件組的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)、使用各種方法在錯(cuò)誤范圍內(nèi)對(duì)準(zhǔn)不同豎直水平的層之間的重疊。例如，還使用光學(xué)方法和使用掃描電子顯微鏡的方法。然而，隨著要在襯底上制造的圖案的尺寸變得更小，重疊一致性劣化。因此，需要即使圖案的尺寸減小也具有優(yōu)異或提高的重疊一致性的半導(dǎo)體裝置。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、各種發(fā)明構(gòu)思提供了一種具有提高的和/或增加的空間效率的半導(dǎo)體裝置。、此外，應(yīng)理解的是，本發(fā)明構(gòu)思不限于前述內(nèi)容，并且本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)下...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。