技術(shù)編號(hào)：40575447
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種豎向晶圓搬運(yùn)設(shè)備，屬于晶圓測(cè)試。背景技術(shù)、晶圓在生產(chǎn)過程中，取放晶圓時(shí)必須輕拿輕放避免在搬運(yùn)過程中對(duì)晶圓造成機(jī)械損傷。目前通常需要人工接過晶圓并轉(zhuǎn)移至對(duì)應(yīng)的工位，但是晶圓在接料和轉(zhuǎn)移的過程中位置和角度容易出現(xiàn)偏移，需要將其旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)至準(zhǔn)確的位置才能進(jìn)行后續(xù)加工，且在旋轉(zhuǎn)過程中晶圓容易出現(xiàn)額外的位置偏移，影響旋轉(zhuǎn)后晶圓的位置精度。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本發(fā)明的目的是提供一種豎向晶圓搬運(yùn)設(shè)備，該豎向晶圓搬運(yùn)設(shè)備既可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的接駁、位置轉(zhuǎn)移以及對(duì)晶圓位置的自動(dòng)檢測(cè)識(shí)別并調(diào)節(jié)，改善晶圓的位置...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。