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技術(shù)編號(hào)：40575788

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本發(fā)明涉及精細(xì)化工純化領(lǐng)域，尤其涉及一種高純度三氟化硼的純化方法及裝置。背景技術(shù)、三氟化硼，無色氣體，有窒息性，在空氣中遇到潮氣，立即分解為氟硼酸和硼酸。高純?nèi)鹩糜陔娮庸I(yè)，作為硅和鍺的外延、擴(kuò)散和立離子注入過程的p型摻雜源、也可以作為制備光纖預(yù)制件的原料，作為硼摻雜劑用于硅離子布植方面，生產(chǎn)出的芯片具有高集成、高密度的特點(diǎn)。硼元素分為硼-和硼-，硼-對(duì)快速中子具有非常強(qiáng)的吸附能力，在核電、現(xiàn)代工業(yè)、軍事裝備等方面的應(yīng)用也日益廣泛，硼-同位素作為集成電路的半導(dǎo)體摻雜所...
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