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一種超薄片平坦化工藝的控制方法及工藝機(jī)臺(tái)與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40576623

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件,尤其涉及一種超薄片平坦化工藝的控制方法及工藝機(jī)臺(tái)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體制造及先進(jìn)材料加工領(lǐng)域,隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步與特殊工藝加工需求的出現(xiàn),對(duì)晶圓及類(lèi)似超薄材料的表面平坦化要求日益嚴(yán)苛。傳統(tǒng)的化學(xué)機(jī)械平坦化(chemical?mechanical?polishing,cmp)工藝在處理厚度大于微米的晶圓時(shí)表現(xiàn)出良好的穩(wěn)定性和效率,但當(dāng)面對(duì)厚度低于此臨界值的超薄片時(shí),技術(shù)挑戰(zhàn)顯著增加。、超薄晶圓在研磨過(guò)程中極易因材料強(qiáng)度降低、剛性不足而引發(fā)碎裂問(wèn)題,這不僅直接導(dǎo)致了產(chǎn)品...
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