技術(shù)編號:40576907
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。【】本技術(shù)涉及單晶爐輔助設(shè)備,尤其涉及一種帶親水層熱交換結(jié)構(gòu)的單晶爐水冷熱屏。背景技術(shù)、【背景技術(shù)】、水冷熱屏作為單晶爐中的一個重要組成部分,其主要作用是控制和調(diào)節(jié)單晶硅生長過程中的溫度分布,以確保單晶硅的生長速率與質(zhì)量,而水冷熱屏殼體材料的選擇對于產(chǎn)品的熱交換效率和整體性能有著顯著影響。、現(xiàn)有的大多數(shù)水冷熱屏殼體為不銹鋼材料,并會采用導熱系數(shù)比不銹鋼更高的銅合金或其他材料作為內(nèi)殼材料,通過提高水冷熱屏內(nèi)殼與單晶爐之間的熱交換效率,來提高產(chǎn)品熱交換效果,但是在特殊的環(huán)境溫度下,僅提升產(chǎn)品殼...
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