技術(shù)編號：40577124
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及芯片加工，具體為一種用于芯片制造中抽檢裝置。背景技術(shù)、芯片在制造過程中需要使用到抽檢裝置對加工完成后的芯片進(jìn)行視覺檢測，通過光學(xué)顯微鏡對芯片進(jìn)行檢測，從而確定芯片是否完好，通過光學(xué)顯微鏡檢測，可以及時發(fā)現(xiàn)芯片制造過程中的問題，如缺陷、不均勻性或損壞，從而采取相應(yīng)的措施進(jìn)行修復(fù)或改進(jìn)，以提高芯片的質(zhì)量和性能。、現(xiàn)有的抽檢裝置多數(shù)采用吸盤夾具進(jìn)行直接夾持，然后把芯片放置在檢測區(qū)域進(jìn)行檢測，但是芯片如果在傳輸過程中出現(xiàn)了位置移動，就會導(dǎo)致設(shè)備的夾持結(jié)構(gòu)不能很好的對芯片夾持，即使夾持起來，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。