技術編號：40577278
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及單晶硅的制造領域，具體而言，涉及一種護盤壓板和單晶爐。背景技術、單晶爐拉制單晶可分為爐體裝置、加熱裝置、保溫裝置、冷卻裝置及提升裝置；其中原生硅料盛放在坩堝中通過加熱裝置將固體融化為液體，在運行過程中如果石英坩堝發(fā)生破裂就會導致硅液漏出流入下部造成整個下軸癱瘓無法運作，在爐底下部有護盤壓板，既可以盛住漏下去的硅液又可以反射部分熱量保證底部熱量的穩(wěn)定，不會造成熱量流失過多。、但，現(xiàn)有護盤壓板表面為平整面，發(fā)生漏硅事故硅液無法盛住，向兩側(cè)流出至爐底造成事故擴大；緊靠平面方式，熱量反射量...
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