技術(shù)編號：40577787
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及行走軸，具體涉及一種高精度高潔凈度的半導(dǎo)體stocker設(shè)備行走軸和操作方法。背景技術(shù)、半導(dǎo)體晶圓、晶棒stocker設(shè)備中，堆垛機(jī)的行走軸多采用一體成型的方式，靈活度較低，當(dāng)適應(yīng)不同的堆垛機(jī)時，一體成型的制造方式局限性較大，為此只能根據(jù)不同的要求，制造不同行程長度的行走軸，增加了制造成本；、目前市場上也存在模塊化行走軸，即將體積、長度較大的行走軸進(jìn)行分段處理，并將分段的行走軸拼接在一起，但是由于行走軸相對窄小，在拼接過程中無法保證行走軸的平行度和平面度，操作較為困難，在實際生產(chǎn)使...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。