技術(shù)編號:40580063
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及真空設(shè)備,具體是一種花瓣型吸氣劑泵用吸氣劑。背景技術(shù)、吸氣劑主要是應(yīng)用在真空領(lǐng)域,是真空和氣體純化領(lǐng)域常用的材料,作用是消除器件中的雜質(zhì)氣體,在真空腔體中起到維持真空度的作用,進而延長器件壽命,減小噪聲;、吸氣劑按是否蒸散可以分為兩大類,一類稱為蒸散型吸氣劑,在真空中時加熱激活從吸氣劑中蒸散出堿土金屬,并很快附著在真空器件內(nèi)壁上形成吸氣薄膜,有很強的吸氣能力。第二種稱為非蒸散型吸氣劑,常見的材料是鋯、鈦等金屬及化合物,這類吸氣劑在大氣中表面會形成致密鈍化層,在真空中對吸氣劑進行高溫...
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