技術(shù)編號(hào)：40580312
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及氣相沉積金剛石涂層，特別涉及一種真空鍍膜裝置。背景技術(shù)、采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備的金剛石膜，因其性能堪比天然金剛石，應(yīng)用前景廣闊，其中，熱絲法因設(shè)備成本低、可大面積沉積的優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于工件表面金剛石涂層的制備；在采用熱絲法于工件表面沉積金剛石涂層的過(guò)程中，熱絲往往需要加工至℃以上，在此溫度下，熱絲在長(zhǎng)時(shí)間工作過(guò)程中易發(fā)生下垂，影響沉積形成的金剛石涂層的質(zhì)量。、現(xiàn)有技術(shù)中，使熱絲保持繃直的拉絲裝置均設(shè)置在反應(yīng)腔內(nèi)，一般利用彈簧的彈力或砝碼的重量等技術(shù)手段進(jìn)行拉絲，從而使熱絲...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。