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一種基于射流等離子體進(jìn)行表面處理的裝置及方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40586663

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本發(fā)明屬于但不限于電氣工程領(lǐng)域,尤其涉及一種基于射流等離子體進(jìn)行表面處理的裝置及方法。背景技術(shù)、隨著先進(jìn)制造技術(shù)的快速發(fā)展,等離子體技術(shù)在材料表面處理領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。等離子體技術(shù)由于其在低溫下實(shí)現(xiàn)高效的材料改性、表面清潔、蝕刻和涂層沉積等優(yōu)勢(shì),成為許多高技術(shù)產(chǎn)業(yè)(如環(huán)境保護(hù)、材料處理、半導(dǎo)體制造、微電子器件加工等)的重要工具。等離子體處理的主要優(yōu)勢(shì)在于能夠提供高度活性的粒子(如離子、自由基和電子),使材料的表面物理和化學(xué)性質(zhì)得以改變。然而,現(xiàn)有的等離子體表面處理技術(shù)仍存在諸多問(wèn)題與限制,亟...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無(wú)完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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