技術(shù)編號(hào)：40588105
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及射頻功放，具體而言，涉及一種射頻自動(dòng)匹配器功放自激調(diào)節(jié)方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)、射頻電源可以激發(fā)氣體獲得等離子體，再利用離子束濺射沉積原理可進(jìn)行真空鍍膜、刻蝕等工作。由于離子腔室內(nèi)負(fù)載的阻抗值會(huì)隨著時(shí)間和腔室內(nèi)環(huán)境參數(shù)的改變發(fā)生線性變化，若直接將射頻電源與負(fù)載相連接，必然導(dǎo)致阻抗失配而發(fā)生大功率反射，造成負(fù)載能力不足、射頻電源過熱。因此需要在射頻電源和負(fù)載之間串聯(lián)自動(dòng)調(diào)節(jié)的匹配器，匹配器的匹配網(wǎng)絡(luò)能夠?qū)⒇?fù)載的阻抗轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)歐，以保證射頻電源高效率正常工作。而該匹配器的匹配速度和效果也...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。