技術(shù)編號：40588382
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及包含稀土類氟化物及稀土類氟氧化物的成膜用材料及皮膜的制造方法。背景技術(shù)、對于yo等稀土類氧化物、yf等稀土類氟化物及yof等稀土類氟氧化物，其作為耐蝕性高的陶瓷在半導(dǎo)體制造工藝中將其皮膜、燒結(jié)體用作保護(hù)材料。、尤其是包含稀土類氟氧化物的成膜用材料的皮膜、燒結(jié)體，已知其化學(xué)上等離子體耐蝕性高、能夠縮短半導(dǎo)體制造裝置的陳化時間。、作為包含稀土類氟氧化物和稀土類氟化物的成膜用材料，已知專利文獻(xiàn)～的成膜用材料。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：美國專利申請公開第...
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