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技術(shù)編號(hào)：40589307

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本技術(shù)涉及激光加工光學(xué)系統(tǒng)，尤其涉及一種周期主動(dòng)可調(diào)的激光干涉刻蝕光學(xué)裝置。背景技術(shù)、激光光束干涉是指利用激光的相干性，通過分束器(如半透半反鏡、劈棱鏡、衍射光柵等)從同一激光源分離出兩束或多束激光，或者由獨(dú)立的但相干的激光器產(chǎn)生，然后使這兩束或多束激光經(jīng)過不同的光學(xué)路徑后，在空間上的某個(gè)點(diǎn)或面上重新疊加，實(shí)現(xiàn)干涉目的。、之所以采用激光，是因?yàn)榧す馐且环N高度相干光源，其光束具有單色性好(即頻率單一)、方向性強(qiáng)、亮度高、相干長度長等特點(diǎn)。這些特性使得激光光束在空間和時(shí)間上能夠保持很好的相干性，...
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