技術(shù)編號：40590285
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微波等離子，更具體的是涉及一種基于電子回旋共振的等離子體炬及其簡化仿真方法。背景技術(shù)、低溫等離子體技術(shù)是一種先進(jìn)的加工和應(yīng)用技術(shù)，利用低能電磁場或微波激發(fā)等離子體狀態(tài)。常見方法包括電容耦合等離子體、電感耦合等離子體、表面等離子體波、螺旋波等離子體和微波等離子體。這些方法在材料加工、表面改性、清潔刻蝕、納米材料合成和環(huán)境治理等方面具有廣泛的應(yīng)用潛力。低溫等離子體技術(shù)具備高效、精準(zhǔn)控制和環(huán)保等優(yōu)勢，因此在科研和工業(yè)應(yīng)用中越來越受到關(guān)注和采用。、表面等離子體波(spw)是一種電磁表面波，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。