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技術(shù)編號(hào)：40591429

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本發(fā)明涉及焊接領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體狹窄通道冷卻盤真空焊接工藝。背景技術(shù)、在晶圓的外延加工過程中，晶圓在完成外延工藝后具有較高的溫度，因此需要對(duì)晶圓進(jìn)行冷卻后再進(jìn)行輸出。目前，冷卻晶圓的方式有氣冷和水冷兩種，冷卻過程中需要將晶圓放置于制冷盤上，并通過熱交換的方式帶走晶圓表面的熱量。無(wú)論是水冷還是氣冷，均通過冷卻盤中預(yù)留的通道進(jìn)行熱量交換。隨著要求提高，冷卻盤的均勻性和換熱率提高，通道變得越來越狹窄、密集，這對(duì)冷卻盤的制造提出了更高的要求?，F(xiàn)如今行業(yè)內(nèi)mm寬度及以下的狹窄通道的真空釬焊常常出...
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