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一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40593425

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本技術(shù)涉及聲表面波器件,尤其涉及一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、聲表面波器件是利用聲表面波對(duì)電信號(hào)進(jìn)行模擬處理的器件,主要包括聲表面波諧振器和聲表面波濾波器等相關(guān)器件,其主要換能單元稱(chēng)為叉指換能器,為了抑制波導(dǎo)模式,往往在叉指換能器匯流條端設(shè)計(jì)假指,叉指換能器通過(guò)半導(dǎo)體工藝包括鍍膜、光刻等把掩膜版上的圖像轉(zhuǎn)嫁到壓電晶片上來(lái)完成,然后通過(guò)劃片、貼片、焊引線、封裝等工藝完成器件的制作,在光刻的過(guò)程中由于光學(xué)鄰近效應(yīng)的影響,造成指條末端邊緣失真變成圓角,邊緣圓角可能導(dǎo)致尖端放電,影響產(chǎn)...
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該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
該類(lèi)技術(shù)注重原理思路,無(wú)完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。

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