技術(shù)編號(hào)：40594114
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于諧振器，特別涉及一種蘭姆波諧振器及其制備方法。背景技術(shù)、基于懸空壓電薄膜的諧振器相比于傳統(tǒng)的固態(tài)裝配型諧振器，可以激發(fā)相對(duì)高聲速、大機(jī)電耦合系數(shù)的模式，進(jìn)而可以作為高頻、大帶寬濾波器的一個(gè)組成部分。近年來，基于sh/s/a模式的懸空薄膜諧振器受到了業(yè)界很大關(guān)注。但是由于薄膜懸空，導(dǎo)致諧振器振動(dòng)產(chǎn)生的熱量無法擴(kuò)散出去，相比于固態(tài)裝配型的諧振器，其功率容量和熱穩(wěn)定性大大減小，成為了制約其應(yīng)用的一個(gè)主要因素。因此如何提升懸空型諧振器的散熱，進(jìn)而加強(qiáng)其穩(wěn)定性是一個(gè)非常重要的任務(wù)，一個(gè)亟...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。