技術(shù)編號：40594618
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備，具體涉及一種單晶爐的喂料裝置。背景技術(shù)、為了降低單晶硅的生產(chǎn)成本和提升晶棒品質(zhì)，行業(yè)技術(shù)人員經(jīng)過大量實(shí)驗(yàn)和數(shù)據(jù)驗(yàn)證，開發(fā)出ocr及ccz（continuous?czocharlski，連續(xù)拉晶）兩種拉晶工藝。、采用以上兩種工藝?yán)茊尉Ч璋魰r(shí)，通常在單晶爐外增加一個(gè)喂料機(jī)構(gòu)，在保持拉晶的同時(shí)將固態(tài)硅料連續(xù)地加入單晶爐的坩堝中，從而保證連續(xù)拉晶的進(jìn)行。、目前，根據(jù)應(yīng)用場景的不同，不同廠家設(shè)計(jì)出各種不同的喂料機(jī)構(gòu)，要么是單級振動(dòng)，要么是兩級振動(dòng)。但是，振動(dòng)送料波動(dòng)大、難...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。