技術編號：40595558
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及原子力顯微鏡，特別是涉及一種計量型原子力顯微鏡的三維掃描測頭。背景技術、原子力顯微鏡(afm)是一種具有亞納米級三維分辨力的精密測量儀器，可實現(xiàn)對各類固體材料甚至生物組織表面微觀三維形貌及物理特性的無損表征，在科研和先進工業(yè)領域有著廣泛的應用。常見afm設備的基本工作原理是利用一根微懸臂梁探針以一定的力觸碰樣品并借助壓電陶瓷掃描器使二者在xy平面內做相對掃描運動，掃描過程中通過掃描器的實時z向反饋維持探針樣品間作用力不變，即保持針尖和樣品間距恒定，則針尖相對于樣品的運動軌跡即反映了樣...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。